공기청정기 필터 등급 정리 – HEPA vs ULPA vs 클린룸 필터
HEPA와 ULPA는 공기청정기의 핵심 필터지만, 반도체·제약 공장에서 사용하는 클린룸 필터와는 성능·구조·등급 체계 자체가 다르다. 공기청정기에서 사용하는 생활용 필터 등급부터, 산업용 클린룸 필터(Pre, HEPA, ULPA)의 차이를 한 번에 정리한다.1. 공기청정기 필터의 기본 구성대부분의 공기청정기는 아래 3단계를 조합해 사용한다.1.1 프리필터역할큰 먼지, 머리카락, 섬유, 애완동물 털 제거특징세척 가능여과 성능보다는 필터 보호 목적1.2 탈취 필터 (Carbon Filter)역할냄새, 가스상 오염물 제거VOC, 포름알데히드 흡착재질활성탄1.3 HEPA 필터공기청정기의 핵심 여과부초미세먼지(PM2.5, PM1.0)를 직접 차단한다.등급은 H10~H14 등급을 사용한다.2. HEPA 필터 등급..
2025. 11. 26.
CMP Slurry 라인 구성 – 응집·침전 방지 설계 기준
CMP 공정에 공급되는 Slurry는 미세 연마 입자(실리카, 알루미나 등)가 포함된 고감도 화학 혼합물로, 라인 구성과 유량 조건이 조금만 틀어져도 침전, 응집, 막힘, 농도 변동이 발생한다. 이를 방지하기 위해 Slurry 라인은 전용 배관 재질, Loop 순환 방식, Agitation 방식, 압력·유량 제어 전략을 체계적으로 따라야 한다. 본 글은 반도체 FAB에서 실제 사용하는 CMP Slurry 라인의 구조와 설계 기준을 실무적으로 정리한다.1. CMP Slurry 특성1.1 구성 및 물성연마 입자: Silica 혹은 Alumina 기반입자 크기: 20 nm ~ 100 nm 중심Carrier: Ultrapure WaterpH: 제조사마다 특정 범위 유지민감 요소: pH 변화, 온도 변화, She..
2025. 11. 23.