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산업·기술 자료114

CMP Slurry 라인 구성 – 응집·침전 방지 설계 기준 CMP 공정에 공급되는 Slurry는 미세 연마 입자(실리카, 알루미나 등)가 포함된 고감도 화학 혼합물로, 라인 구성과 유량 조건이 조금만 틀어져도 침전, 응집, 막힘, 농도 변동이 발생한다. 이를 방지하기 위해 Slurry 라인은 전용 배관 재질, Loop 순환 방식, Agitation 방식, 압력·유량 제어 전략을 체계적으로 따라야 한다. 본 글은 반도체 FAB에서 실제 사용하는 CMP Slurry 라인의 구조와 설계 기준을 실무적으로 정리한다.1. CMP Slurry 특성1.1 구성 및 물성연마 입자: Silica 혹은 Alumina 기반입자 크기: 20 nm ~ 100 nm 중심Carrier: Ultrapure WaterpH: 제조사마다 특정 범위 유지민감 요소: pH 변화, 온도 변화, She.. 2025. 11. 23.
PFA vs PVDF 배관 차이 – 반도체·케미칼 라인 적용 기준 PFA(Perfluoroalkoxy)와 PVDF(Polyvinylidene Fluoride)는 반도체·디스플레이·케미칼 플랜트에서 가장 널리 사용되는 불소계 배관 재질이다. 두 재질은 모두 고내화학성을 갖지만, 내열성·내금속이온·용출 특성·유연성·비용에서 뚜렷한 차이가 있다. 본 글에서는 반도체 공정(UPW, Chemical Delivery, Slurry), 배관 시공, 내화학 실제 적용 조건에 따라 어떤 재질을 선택해야 하는지 실무 기준으로 정리한다.1. 재질 개요1.1 PFA (Perfluoroalkoxy)완전 불소계(Fluoropolymer)매우 높은 내화학성 (강산·강염기·Solvent 대부분 안정)금속이온 용출 거의 없음반도체 초고순도 라인에서 표준 재질1.2 PVDF (Polyvinyliden.. 2025. 11. 23.
SWR 공정 Spin Wet Rinse Process SWR 공정은 반도체 웨이퍼 표면 세정 단계에서 활용되는 Spin Wet Rinse 프로세스로, 표면의 화학액 및 오염물을 정밀하게 제거하기 위해 회전 기반 세정과 순수수(UPW) 린스 단계를 결합한 방식이다. 본 문서에서는 SWR 공정의 정의, 기본 구성, 장비 구조, 주요 파라미터, 공정 제어 요소, 장점 및 한계 등을 산업 실무 기준으로 정리한다. 또한 유사 공정과의 비교표 및 응용 사례를 포함해 설비 엔지니어, 공정 엔지니어가 참고할 수 있는 실제적 자료로 구성한다.서론 Introduction반도체 제조에서 웨이퍼 표면 세정은 미세 패턴 구조의 결함을 최소화하기 위해 필수적으로 수행된다. 특히 미세선폭이 축소되고 공정 층수가 증가할수록 세정 품질에 대한 요구 수준은 더욱 높아지며, SWR 공정은 .. 2025. 11. 17.
SUS316L과 304의 내식성 차이 – 부식 메커니즘과 적용 기준 산업 설비, 압력용기, 배관, 필터 하우징 등에서 가장 많이 사용되는 SUS304와 SUS316L의 내식성 차이를 정리한 실무 가이드입니다. 두 강종은 모두 오스테나이트계 스테인리스지만, Cr·Ni·Mo 조성의 미세한 차이가 내식성, 용접성, 원가, 적용 범위를 완전히 갈라놓습니다.화학 조성과 기본 특성 비교 항목 SUS304 SUS316L Cr(크롬)18%17%Ni(니켈)8%10~12%Mo(몰리브덴)없음2~2.5%C(탄소)≤0.08%≤0.03% (Low Carbon)구조오스테나이트계오스테나이트계자성비자성비자성가공성우수우수용접성우수우수 (탄화물 석출 억제)핵심 차이:316L은 304에 몰리브덴(Mo) 을 첨가하여 염화물 부식 저항성을 크게 향상시킨 저탄소형 합금이다.즉, “해수·산·알칼리 환경에 강한.. 2025. 11. 12.
산업용 필터 교체주기 계산법 – 차압 기준으로 교체 시기·비용 절감하는 실무 공식 반도체·제약·화학 공정에서 사용하는 산업용 카트리지 필터의 교체주기를 정량적으로 계산하는 방법을 다룹니다.차압 상승, 유량 저하, 오염부하량 데이터를 기반으로 필터 수명을 예측하면 불필요한 교체비용을 줄이고 공정 안정성을 높일 수 있습니다.필터 교체가 중요한 이유필터는 운전시간이 길어질수록 차압(ΔP) 이 상승하고, 이는 곧 펌프 부하 및 공정 불안정으로 이어집니다.너무 일찍 교체하면 비용 낭비, 너무 늦게 교체하면 품질 리스크 —따라서 “교체 시점의 수치화” 가 관리 효율을 좌우합니다.필터 교체주기 계산식​​ 변수 설명 예시 ΔP₀신규 필터 차압 (보통 0.01~0.03 MPa)0.02 MPaΔPmax최대 허용 차압 (제조사 기준 0.15~0.20 MPa)0.18 MPaΔPrate시간당 차압 상승 .. 2025. 11. 11.
수소 저장 탱크 기술 동향 – 고압식 vs 액화식 비교와 향후 과제 이 글에서는 수소 저장 기술의 핵심인 고압 기체 저장 방식(Type I~IV 복합탱크)과 액화 수소 저장 방식(-253℃ 극저온 저장)을 비교하고, 향후 상용화 과제 및 기술적 진화를 분석한다. 현재 수소 모빌리티 및 플랜트 산업은 700bar급 고압 탱크가 주류지만, 장기적으로는 액화 및 금속수소화물 저장으로의 전환이 진행 중이다.1. 수소 저장의 기술적 배경수소(H₂)는 단위 질량당 에너지 밀도가 높지만, 기체 상태에서는 부피당 에너지 밀도가 매우 낮다.이 때문에 저장 효율이 산업화의 가장 큰 병목이다.현재 상용 기술은 크게 세 가지로 분류된다.고압 압축 저장 (Compressed Gas Storage)액화 저장 (Cryogenic Liquid Storage)고체 저장 (Metal Hydride, A.. 2025. 11. 2.
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