1. 스키드 시스템의 정의
스키드(Skid) 시스템은 펌프, 밸브, 필터, 센서, 제어 장치 등 다양한 설비를 하나의 프레임 위에 조립한 모듈형 유닛이다. 주로 공장에서 사전 제작 및 조립된 후, 현장에서 통합 설치되기 때문에 설치 기간을 단축하고 시공 품질을 표준화할 수 있는 장점이 있다.
특히 반도체 플랜트에서는 고순도 화학약품 공급, 초순수(DIW) 이송, 가스 정제, 필터 유닛 등 정밀 유체 제어가 필요한 공정에 필수적으로 활용된다.
2. 스키드 시스템의 구성 요소
스키드 시스템은 공정에 따라 구성 방식이 달라지며, 대표적인 구성 요소는 다음과 같다.
- 펌프: 유체 이송용 (원심펌프, 다이어프램 펌프 등)
- 필터 하우징: 입자 제거 및 고순도 유체 확보
- 유량/압력/온도 센서: 실시간 공정 모니터링
- 제어 장치 (PLC/HMI): 자동화 제어 시스템
- 밸브류 (게이트, 글로브, 볼밸브 등): 유량 및 방향 제어
- 배관: SUS304/316L, PFA, PTFE 등 재질 선택
- 프레임 구조물: SUS, 알루미늄, 카본 스틸 등으로 제작
3. 스키드 시스템의 장점
스키드는 기존의 현장 배관 방식과 비교해 여러 면에서 장점이 뚜렷하다.
- 모듈화로 설치 간소화 및 설치 시간 단축
- 공장 조립 (Fabrication) → 현장 리스크 최소화
- 검수 및 FAT 가능 → 품질 신뢰성 확보
- 협소한 공간에서도 배치 용이
- 유지보수 간편, 교체 및 확장 용이
4. 반도체 플랜트에서의 활용 사례
스키드 시스템은 반도체 산업에서 다음과 같은 유닛으로 적용된다:
| 적용 분야 | 설명 |
| DIW 공급 유닛 | 초순수(Deionized Water) 이송용 |
| CMP 슬러리 스키드 | 슬러리 저장 및 정밀 이송 |
| Gas Purifier Skid | 고순도 가스 정제용 |
| Acid Supply Skid | 강산성 약품 공급 유닛 |
| Filter Skid Unit | 멀티 카트리지 기반 정밀 여과 시스템 |
최근에는 고객 맞춤형 설계(Custom Skid System) 수요도 증가하고 있으며, 국내에서는 ASME 인증을 포함한 고품질 모듈 설계 역량이 중요해지고 있다.
5. 제작 시 고려사항
스키드 설계는 단순히 장비 조합을 넘어 유체 특성과 설치 환경, 품질 인증까지 종합적으로 고려되어야 한다.
- 유체의 점도, 부식성, 입자 유무
- 설계 유량 및 압력
- 공간 제약 및 이동성 여부
- 내화학성 재질 선택 (SUS316L, PFA, PTFE 등)
- ASME, CE 등 국제 인증 여부
6. 마무리
스키드 시스템은 플랜트 설비의 표준화, 모듈화, 고효율화를 대표하는 핵심 기술이다. 특히 반도체 산업에서는 정밀한 유체 이송과 관리가 필수이기 때문에, 스키드는 생산성과 품질 안정성을 동시에 확보할 수 있는 해법으로 주목받고 있다.
앞으로 고도화되는 제조 환경에서는 지능형 센서, 자동 제어 시스템이 결합된 스마트 스키드 시스템으로 진화할 가능성도 크다.
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