반도체 배관 유체 구분 완전 정리 – HCW, HCH, LCH의 차이와 스팀트랩의 역할까지
이 글에서는 반도체 플랜트 배관에서 사용되는 주요 유체(HCW, HCH, LCH)의 구분 기준, 온도 범위, 적용 배관 재질, 스팀트랩의 역할과 선정 방법을 실무 관점에서 정리합니다. 1. HCW, HCH, LCH란? 구분 약어 의미 공급온도 주요 용도 고온순수수 (고온공급)HCWHot Clean Water약 80~90℃온수식 온도 제어, 세정용고온냉각수 (순환수계열)HCHHot Chilled Water약 40~60℃CMP, Etcher 등 온도 안정저온냉각수 (저온공급)LCHLow Chilled Water약 10~20℃반응기 냉각, 일반 냉각HCW는 UPW(Ultra Pure Water) 기반의 고온수로, 세정과 온도 제어를 동시에 담당합니다.HCH는 저온 냉각 후 약간 가열된 냉각수로, 온도 ..
2025. 6. 26.
