스키드(Skid) 시스템이란? – 반도체 플랜트 핵심 장비 해설
1. 스키드 시스템의 정의스키드(Skid) 시스템은 펌프, 밸브, 필터, 센서, 제어 장치 등 다양한 설비를 하나의 프레임 위에 조립한 모듈형 유닛이다. 주로 공장에서 사전 제작 및 조립된 후, 현장에서 통합 설치되기 때문에 설치 기간을 단축하고 시공 품질을 표준화할 수 있는 장점이 있다.특히 반도체 플랜트에서는 고순도 화학약품 공급, 초순수(DIW) 이송, 가스 정제, 필터 유닛 등 정밀 유체 제어가 필요한 공정에 필수적으로 활용된다.2. 스키드 시스템의 구성 요소스키드 시스템은 공정에 따라 구성 방식이 달라지며, 대표적인 구성 요소는 다음과 같다.펌프: 유체 이송용 (원심펌프, 다이어프램 펌프 등)필터 하우징: 입자 제거 및 고순도 유체 확보유량/압력/온도 센서: 실시간 공정 모니터링제어 장치 (PL..
2025. 3. 30.
