초순수(UPW) 시스템 구조 정리 – 반도체·제약용 수처리 설비
이 글에서는 반도체·제약 플랜트에서 사용하는 UPW(초순수) 시스템의 전체 구조와 각 유닛 기능, 루핑 방식, 설비 사양서 해석법 및 유지보수 기준까지 실무 관점에서 상세히 설명합니다.1. 초순수(UPW)란?초순수(Ultra Pure Water, UPW)는 전기전도도 0.055 μS/cm 이하(이론적 순수 수치) 수준의 물로, 반도체 제조나 바이오 제약 공정에서 세정수, 반응용수, 원재료 용해수로 사용됩니다.용도 예시반도체: 웨이퍼 세정, 식각 후 헹굼제약: 주사용수(WFI) 전단 정제수, 배합수2. UPW 시스템 전체 구조UPW 설비는 보통 다음 4단계로 구성됩니다:① 전처리 (Pre-treatment Unit)원수 → 활성탄 여과, 모래여과 등주요 설비: 다층여과기(MMF), 활성탄필터, 카트리지 필..
2025. 8. 12.
