반응형 안전 설비 구조1 산업용 가스, 어디서 오는가? : 반도체 공장의 보이지 않는 혈관 반도체 공장에선 하루도 빠짐없이 수많은 가스가 사용된다.질소, 아르곤, 수소, 산소, 실란(SiH₄), 불소계 가스 등…그 가스들은 공기처럼 ‘흘러야’ 하지만, 단 하나의 누출로도 모든 공정이 멈춘다.그래서 반도체 가스 시스템은 그 어떤 설비보다 정밀하고, 안전해야 한다.가스는 어디서 오는가?산업용 가스의 공급 방식은 크게 3가지로 나뉜다.1. Bulk Supply System대량 가스 공급용 설비 (N₂, O₂ 등)외부 탱크에서 Header Line → 공정라인으로 직접 연결질소 같은 고순도 가스는 1일 수십만 리터가 쓰인다2. Cylinder Supply System고순도 또는 특수가스 용도실린더 캐비닛에 여러 개의 가스통이 정렬됨교체 주기 / 사용량 모니터링 / 정전 대비 시스템 포함3. Tube .. 2025. 4. 5. 이전 1 다음 반응형
