본문 바로가기
반응형

반도체 클린룸3

클린룸 급기(AHU, FFU)와 배기 설비 구성도 – 설계자용 해설 이 글에서는 클린룸의 급기(AHU, FFU) 및 배기 흐름 구성과 HEPA 필터 조합 방식, 제약 vs 반도체 클린룸의 공조 차이, 차압 유지 및 필터 교체 주기를 상세하게 설명합니다. 1. 클린룸 공조 시스템 개요클린룸의 핵심은 ‘입자 제거’와 ‘차압 유지’입니다. 이를 위해 외기와 재순환 공기를 조절하는 급기/배기 시스템이 정밀하게 설계됩니다.급기 시스템 구성 구성 요소 기능 AHU (Air Handling Unit)외기와 재순환 공기를 냉각·가열·제습·가습 후 공급Pre Filter (예비 필터)외기 중 대형 먼지 제거HEPA/ULPA 필터0.3μm 이하 초미세 입자 제거 (효율 99.97% 이상)FFU (Fan Filter Unit)청정도 최상 유지. 필터+팬 일체형으로 천장에 직접 설치 배기 .. 2025. 6. 29.
클린룸 차압 설계의 기본 원리 – 구역별 압력 차이 설정 기준 1. 왜 클린룸에 차압이 중요한가?클린룸에서의 차압(Differential Pressure)은 오염원이 이동하지 못하게 막는 가장 중요한 수단 중 하나입니다.클린룸은 외부보다 청정한 공간일 뿐만 아니라, 구역 간에도 청정도 수준이 다르기 때문에 오염이 청정구역으로 역류되지 않도록 해야 합니다.이를 위해 고청정도 구역 → 저청정도 구역 방향으로 항상 양압(positive pressure)을 유지합니다.이 구조가 깨지면 오염 입자가 역류하여 제품 오염, 공정 문제로 이어질 수 있습니다.2. 기본 원리  (고압 → 저압 흐름)클린룸 내 차압 설계의 핵심은 공기는 항상 압력이 높은 곳에서 낮은 곳으로 흐른다는 물리 원칙입니다.이를 통해 외부 공기 또는 오염된 공기가 청정공간으로 들어오는 것을 방지합니다.차압 기.. 2025. 4. 1.
클린룸 등급별 분류 & 유지 조건 – ISO 등급, 공기청정도 기준 정리 1. 클린룸이란 무엇인가?클린룸(Cleanroom)은 공기 중의 입자 수, 온도, 습도, 압력 등을 엄격히 관리하여 청정한 작업 환경을 유지하는 공간입니다. 주로 반도체, 제약, 디스플레이, 우주항공, 정밀기계 산업에서 사용됩니다.클린룸의 품질은 곧 제품의 품질과 직결되기 때문에, 국제 기준에 따른 등급 관리가 매우 중요합니다.2. 클린룸 등급 – ISO 14644-1 기준현재 전 세계적으로 통용되는 클린룸 분류 기준은 ISO 14644-1입니다.이 기준은 0.1㎛~5.0㎛ 크기의 입자 농도를 기준으로 ISO Class 1 ~ 9까지 등급을 나눕니다. ISO 등급 0.1㎛ 0.3㎛ 0.5㎛ 1.0㎛ 5.0㎛ ISO 110----ISO 31,000237102358ISO 5100,00010,2003.. 2025. 4. 1.
반응형