PTFE 라이닝 설계 완전 해설 – 반도체 케미컬 탱크 실무 기준으로 본 구조, 시공, 리스크까지
1. 반도체 공정 케미컬 탱크에 왜 PTFE 라이닝을 쓰는가반도체용 케미컬 탱크에는 불산(HF), 과산화수소(H2O2), 황산(H2SO4), 암모니아수 등 강한 부식성을 가진 고순도 화학물이 저장된다. 이러한 케미컬은 스테인리스조차 장기적으로 부식시키기 때문에, 탱크 내부에는 반드시 내식성 재질의 PTFE 시트 라이닝이 적용된다.주 용도: CMP 폐액 저장탱크, 슬러리 탱크, 에칭 케미컬 저장라인 등설계 조건 예시:설계압력: ATM설계온도: 60℃ 이하 (열팽창 고려)유체: 강산계, 불소계, 산화제 계열2. 구조 해설 – 단면도 기반 실제 라이닝 구조 설명내부 단면 구성Base Material (Backup Steel): SS400 또는 SUS304, 일반적으로 6~9TLining Material: PT..
2025. 5. 21.
