반응형 산업·기술 자료/반도체 공정·부품 (소재·장비·기술)7 가스 필터의 최고 등급은 왜 0.2μm인가? – 필터링 원리 반도체, 제약, 디스플레이 산업에서 가스 필터의 대표적인 최고 등급은 0.2μm로 알려져 있다. 하지만 정말 0.2μm가 최고의 등급일까? 0.1μm 이하의 초미세 필터가 있음에도 불구하고, 왜 대부분의 산업에서 0.2μm 필터가 표준이 되었는지 그 이유를 살펴보자.1. 필터링이 작동하는 원리 – 입자의 크기에 따른 차단 방식가스 필터는 입자 크기에 따라 여러 가지 메커니즘으로 입자를 제거한다. 기본적으로 필터는 입자가 너무 커서 물리적으로 걸리는 방식(체 효과, Sieve Effect) 이외에도, 관성 충돌(Inertial Impaction), 확산(Diffusion), 정전기 흡착(Electrostatic Deposition) 같은 다양한 방법을 통해 입자를 차단한다.1) 체 효과 (Sieve Eff.. 2025. 3. 13. 이전 1 2 다음 반응형
